人工光源的三种形式(常用光源具有哪三种基本形式)

大家好，今天小新小编来讲讲一篇关于自由形式光源，关于自由形式光源部分内容简述的文章，那么现在就为大家来简单介绍下，希望能帮助到各位小伙伴们。

1、 自由形式光源指在集成电路光刻制造工艺中，光照的条件应该根据掩模版上的图形来设置，这样才能使掩模上所有的图形实现最佳分辨率，共同的光刻工艺窗口才能达到最大 。

文章到此就分享结束，希望能帮助到大家。