电子探针仪（电子探针）
关于电子探针仪，电子探针这个很多人还不知道，今天就让小编小新来为大家解答以上的问题，现在让我们一起来看看吧！
1、电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。
2、它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。
3、其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。
4、其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。
5、 X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。
6、波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。
7、WDS组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。
8、原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。
9、通过连续地改变q，就可以在与X射线入射方向呈2 q的位置上测到不同波长的特征X射线信号。
10、根据莫塞莱定律可确定被测物质所含有的元素。
11、为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。
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